O abordare inovatoare a acoperirii ionice pe aparatele de acoperire cu vid

O abordare inovatoare a acoperirii ionice pe aparatele de acoperire cu vid

Metoda inovatoare de acoperire cu ioni multi-arc a echipamentelor de acoperire cu vid, așa-numita acoperire cu ioni multi-arc este de a plasa materialul care urmează să fie placat și substratul care urmează să fie placat în cameră. Și zburați pulverizați la suprafața substratului placat pentru a se condensa și a forma un film.

Metoda de acoperire cu ioni multi-arc are multe avantaje în formarea filmului în condiții, care pot reduce coliziunea dintre atomi și moleculele materialului de evaporare în procesul de zbor către substrat și pot reduce reacția chimică dintre moleculele active din gazul și materialul sursă de evaporare (cum ar fi oxidarea etc.) și reduce cantitatea de molecule de gaz care intră în film pentru a deveni impurități în timpul procesului de formare a filmului, îmbunătățind astfel densitatea, puritatea, rata de depunere și aderența stratului de film la substratul.

Procesul de detectare a scurgerilor în vid a mașinii de acoperire în vid

În primul rând, este necesar să se confirme dacă scurgerea este o scurgere virtuală sau o scurgere reală, deoarece materialul piesei de prelucrat va genera gaz în grade diferite după încălzire, care poate fi confundat cu gazul care curge din exterior, care este o scurgere virtuală. , iar această situație trebuie exclusă. .

În al doilea rând, testați etanșeitatea la gaz a camerei de vid pentru a vă asigura că etanșeitatea la gaz îndeplinește cerințele.

În al treilea rând, verificați dimensiunea, forma, locația și viteza scurgerii, pregătiți o soluție și implementați-o.

În al patrulea rând, determinați rata minimă de scurgere detectabilă și sensibilitatea de detectare a scurgerilor a instrumentului de detectare, detectați scurgerile de aer în cel mai mare interval, evitați ignorarea unor scurgeri și îmbunătățiți acuratețea detectării scurgerilor.

În al cincilea rând, înțelegeți timpul de răspuns și timpul de eliminare a instrumentului de detectare a scurgerilor, stăpâniți bine timpul și asigurați-vă că instrumentul de detectare a scurgerilor funcționează la loc. Dacă timpul este scurt, efectul de detectare a scurgerilor va fi cu siguranță slab. Dacă timpul este lung, costurile cu gazul de detectare a scurgerilor și cu energia electrică vor fi irosite.

În al șaselea rând, este, de asemenea, necesar să se evite blocarea orificiilor de scurgere. Uneori, din cauza erorilor de funcționare, unele praf sau lichide blochează orificiul de scurgere în timpul procesului de detectare a scurgerilor, gândindu-se că nu există orificiu de scurgere în această poziție, dar atunci când aceste blocaje se datorează diferenței de presiuni interne și externe. Din alte motive, scurgerea nu este blocată, iar scurgerea încă există.

www.superbheater.com