Electronii sunt emiși de la granițele de granule ale aparatelor de acoperire cu vid

Electronii sunt emiși de la granițele de granule ale aparatelor de acoperire cu vid

Ionii metalici sunt atrași de suprafața catodului și pot genera un strat de încărcare spațială. Câmpul electric puternic declanșat în acest timp face ca electronii să fie ejectați din microfisuri sau granițe cu funcție de lucru mică pe suprafața catodului.

Aspirați peretele interior și anodul sursă țintă al mașinii de acoperire cu vid

După multe ciocniri, energia electronilor scade treptat, scapă de cătușele liniilor de câmp magnetic și, în final, cade pe substrat, pe peretele interior al camerei de vid și pe anodul sursei țintă. Sub accelerarea câmpului electric de înaltă tensiune, ionii Ar plus se ciocnesc cu ținta și eliberează energie, determinând atomii de pe suprafața țintei să absoarbă energia cinetică a ionilor Ar plus și să se desprindă de rețeaua originală, iar atomii neutri țintă scapă de pe suprafața țintei. Zburați pe substrat și depuneți o peliculă subțire pe substrat.

Sistem de pulverizare cu Magnetron de acoperire cu vid

În sistemul de pulverizare cu magnetron, un magnet puternic 100-1000 Gauss este plasat în spatele țintei catodului, iar camera cu vid este umplută cu un gaz inert (Ar) cu o presiune de 011-10 Pa ca purtător de gaz. deversare. Sub acțiunea tensiunii înalte, atomii de Ar sunt ionizați în Ar plus ioni și electroni. În procesul de accelerare și zbor către substrat, electronii sunt afectați de un câmp magnetic perpendicular pe câmpul electric, ceea ce face ca electronii să fie deviați și legați în zona plasmei aproape de suprafața țintă. El avansează de-a lungul suprafeței țintei într-o manieră cicloidă și se ciocnește cu atomii de Ar continuu în timpul mișcării, ionizând un număr mare de ioni de Ar plus.

Duritate extrem de ridicată și rezistență la uzură a aparatului de acoperire cu vid

1. Deoarece materialul de acoperire de pe suprafață are duritate și rezistență la uzură extrem de ridicată, în comparație cu carbura cimentată neacoperită, carbura cimentată acoperită permite o viteză de tăiere mai mare, îmbunătățind astfel eficiența prelucrării; Îmbunătățiți semnificativ durabilitatea sculei la aceeași viteză de tăiere.

2. Deoarece coeficientul de frecare dintre materialul de acoperire și materialul de prelucrat este mic, forța de tăiere a lamei acoperite este redusă într-o anumită măsură în comparație cu lama neacoperită.

3. Când lama acoperită este prelucrată, calitatea suprafeței prelucrate este mai bună.

4. Datorită performanței cuprinzătoare bune, lama acoperită are o versatilitate mai bună. O lamă acoperită are o gamă largă de aplicații.

www.superbheater.com