Cum sunt silicon încălzitoare utilizate în semiconductori plachetă procesare?

Silicon încălzitoare au numeroase critice programe în semiconductor plachetă procesare.
În primul rând, în numeroase game de fabricație plachetă, inclusiv proceduri de recoacere și difuzie, silicon încălzitoare sunt utilizate pentru unice controlul temperaturii este important pentru atingerea țesăturii și uneltei performanța superioară. Silicon încălzitoare pot oferi corect și încălzire solidă, asamblare acele cerințe stricte de temperatură . Pentru exemplu, în cursul de recoacere, napolitană dorințele de a fi încălzit pentru a atenua presiunea și îmbunătățirea structurii cristalului. La acest timp, calzitorul silicon poate asigură că temperatura este exact gestionat înăuntru un mic interval, protecție oprit nefavorabile consecințe pe napolitană grozavă.

Mai mult, ei aduc o o contribuție la verde calditate transfer. Conducția termică excelentă a siliconului permite distribuție rapidă și uniformă a căldurii la placheta suprafață, minimizarea temperaturii gradientelor și îmbunătățirea modului consistenței. Că exemplu, cu înăuntru chimică vapori depunere (CVD) manieră, un skinny film dorințe de la la plachetă, și uniformă temperatură mobilat prin silicon încălzitor poate asigură asigură uniformitatea și grozav de filmul depozitat.
În plus, silicon încălzitoare put fi proiectat pentru a trata cu procesare dură împrejurimi în semiconductori fabricație, care normal constă în publicitate la numeroși compuși chimici și excesiv vid condiții.