În etapa inițială a mașinii de acoperire în vid, viteza de pulverizare este scăzută, iar viteza de formare a filmului este lentă.

În etapa inițială a mașinii de acoperire în vid, viteza de pulverizare este scăzută, iar viteza de formare a filmului este lentă.

În etapa inițială de depunere a peliculelor subțiri prin această metodă, există o serie de probleme, cum ar fi viteza scăzută de pulverizare, viteza lentă de formare a filmului, presiunea ridicată și gazul inert trebuie setat pe dispozitiv. Prin urmare, dezvoltarea lentă este aproape eliminată. Doar o cantitate mică de aplicații au fost făcute în materiale precum metale nobile, metale refractare, dielectrice și compuși cu activitate chimică puternică. Abia în anii 1970, datorită apariției în timp util a pulverizării magnetronului, stratul de pulverizare s-a dezvoltat rapid și a început să intre pe drumul renașterii. Acest lucru se datorează faptului că metoda de pulverizare cu magnetron poate limita electronii prin câmpuri electromagnetice ortogonale, ceea ce crește probabilitatea de coliziune între electroni și moleculele de gaz, ceea ce nu numai că reduce tensiunea aplicată catodului, dar și îmbunătățește pulverizarea ionilor pozitivi către catodul țintă. Viteza reduce probabilitatea bombardării cu electroni a substratului, reducând astfel temperatura acestuia, adică are cele două caracteristici de viteză mare și temperatură scăzută.

Depunerea de pelicule subțiri pe substraturi prin metoda pulverizatoare a aparatului de acoperire cu vid

Pulverizarea este un fenomen în care particulele încărcate (de obicei ionii pozitivi de gaz inert) sunt folosite pentru a bombarda suprafața unui solid (denumit în continuare țintă), provocând astfel atomi (sau molecule) de pe suprafața țintei să scape din aceasta. Acest fenomen a fost descoperit de Grove în 1842 în timp ce studia experimental problema coroziunii catodice, când materialul catodic a fost migrat pe peretele tubului vidat. Aparatul de acoperire cu vid a folosit această metodă de pulverizare pentru a depune pelicule subțiri pe substrat a fost introdus în 1877.

www.superbheater.com