Miniaturizarea senzorului și tehnologia CHIP

Sistemul micro-electromecanic (MEMS) este un micro-sistem sau un dispozitiv care integrează micro-mecanisme, micro-senzori, micro-actuatori, circuite de control, procesare a semnalului, comunicare, interfețe, surse de alimentare, etc. Este o tehnologie pentru proiectarea, procesarea, fabricarea, măsurarea și controlul materialelor micro/nano.

Tehnologia MEMS include: tehnologie de micromachinare siliciu, gravură cu ioni reactivi profunde, tehnologie LIGA, tehnologie de asamblare moleculară, micromachinare în vrac, micromachinare de suprafață, micromachining laser și micro-pachetare.

Tehnologia de micromachining de siliciu este tehnologia principală a MEMS. Este o tehnologie de procesare tridimensională de precizie. Este o tehnologie pentru dezvoltarea senzorilor, micro-actuatorilor, micro-actuatoarelor și sistemelor micro-mecanice. A fost utilizat cu succes pentru fabricarea diverselor micro-senzori și tablouri de elemente sensibile multifuncționale. Cum ar fi senzori capacitivi micro-silicon, senzori de flux de masă micro-silicon, senzori dinamici și micro-senzori pentru senzori micro-chimici aerospațiali, presiune auto și accelerație, senzori micro-chimici de protecție a mediului etc.

Tehnologia de integrare a tablourilor de senzori și a compozitelor cu parametri multi-senzori

Integrarea se referă la integrarea mai multor funcții de detectare cu procesarea datelor, stocarea, comunicarea bidirecțională, etc., cum ar fi presiunea, presiunea statică, senzorul cu trei variații de temperatură; presiunea aerului, forța vântului, temperatura, umiditatea senzor cu patru variabile; Senzor de presiune a tensiunii compozit micro siliciu și senzor de matrice etc., toate folosesc tehnologia de integrare. Procesul de integrare și Procesul de fabricație integrat cu senzor compus multi-variabil, Proces de fabricație integrată, cum ar fi presiune, presiune statică, temperatură senzor cu trei variabile, presiune a aerului, forță vânt, temperatură, umiditate senzor cu patru variabile, senzor de presiune compus micro siliciu, senzor de tablă.

Există două tipuri de integrare a senzorilor: unul este de a construi mai multe module de senzori pe un cip prin intermediul tehnologiei de micro-prelucrare pentru a forma un senzor liniar (cum ar fi senzorul de imagine CCD); Cealaltă este de a face componente sensibile cu funcții diferite pe același cip de siliciu pentru a face un senzor multifuncțional integrat, cu integrare ridicată, dimensiuni mici și compensare și corecție ușoară.